二、產品介紹
1、產品概述
SPV-200真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
2、產品優勢
（1）真空系統集成，占地面積小。
（2）便捷的收放板方式。
（3）低耗能、耗氣產品。
（4）水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
（5）集成的控制系統設計，使操作更方便。
（6）合理的等離子反應空間，使處理更均勻。
（7）產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品。
3、產品結構
真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分：等離子體發生器、真空腔及真空系統、控制系統。
（1）等離子體發生器
等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內達到一定真空度時，產生等離子體放電現象，放電后電路會自動調節電壓到適當值，保證電路正常穩定放電。
（2）真空腔及真空發生系統
真空腔固定于機柜框架內，左右兩側為可拆門，因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）
（3）控制系統
本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。
4、產品規格
5、設備尺寸圖紙
（1）主機圖紙
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