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215萬元采購物理氣相沉積設備
2020年05月16日 17:28:46
來源：化工儀器網 點擊量：4803
為了進一步提升實驗室的能力，為科技成果的快速轉移轉化提供強力引擎，松山湖材料實驗室計劃采購新型儀器。
【化工儀器網 采購招標】松山湖材料實驗室成立于2018年，是廣東省首批啟動建設的四家廣東省實驗室之一。由東莞市政府、中國科學院物理研究所和中國科學院高能物理研究所共建。作為有影響力的新材料研發南方基地、未來國家物質科學研究的重要組成部分、粵港澳交叉開放的新窗口以及具有品牌效應的粵港澳科研中心，實驗室為國家材料科學重大領域的研究和關鍵技術的創新突破，提供穩定、專業和先進的科學技術支撐和人才輸出。
為了進一步提升實驗室的能力，為科技成果的快速轉移轉化提供強力引擎，松山湖材料實驗室計劃采購新型儀器。5月15日，松山湖材料實驗室委托國科東儀(廣東)項目管理有限公司根據相關法律法規相項目編號為441900-202005-0099990033-0005的物理氣相沉積設備組織公開招標采購。
招標公告顯示，本項目預算215萬元采購一套用于藍寶石襯底的高質量氮化鋁預沉積，為后續MOCVD生長GaN/AlN基LED發光器件提供襯底基礎的物理氣相沉積設備。據悉，該設備的氣相沉積模塊要求其在沉積過程中能夠實現能夠實現氮氣、氧氣與氬氣三種氣體的混合通入，氬氣、氮氣與氧氣的氣體大流量為200、200與5sccm；能夠實現400~700 ℃的溫度控制；加熱利用近紅外燈絲輻照裝置，能夠實現72秒內室溫升至700 ℃的快速加熱，且溫度不均勻性小于3%；樣品托具有自動傳輸功能，能夠實現2至8寸片的自動傳輸。此外，其軟件功應當能實現對氣相沉積模塊生長過程中條件的精確控制，包括氬氣、氮氣與氧氣的分壓，溫度與濺射功率等。
在中華人民共和國境內依法注冊的，具有獨立承擔民事責任能力，遵守國家法律法規，具有良好信譽，具有履行合同能力和良好的履行合同的記錄，具有良好資金、財務狀況的法人實體以及符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條要求的儀商可在2020年5月22日之前，到采購代理單位處獲取招標文件，并在2020年6月5日9時30分之前將標書投遞至廣東省東莞市莞城街道旗峰路莞城段200號1單元中天大廈602開標室。
相信本項目儀器的投入使用能有效拓展實驗室的各項工作，且本項目還落實了政府采購促進中小企業發展、支持監獄企業發展、促進殘疾人就業、鼓勵采購節能環保產品等政府采購政策，為此，希望感興趣的儀商能積極參與本項目的招投標活動。
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