多種氣體流量計混合配比器

  多種氣體流量計混合配比器模擬式質量流量控制器是是中國早的氣體測控產品，迄今為止已經30多年。 產品種類50余種，涵蓋數字型，普通型，大量程型，高精度型，快響應型，耐壓型，金屬密封型等多種類型的需求。產品歷經市場考驗，廣泛應用于半導體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、食品、航空電力等行業(yè)，已經成為支撐各工業(yè)領域行業(yè)發(fā)展的重要設備。

產品用途;
  多種氣體流量計混合配比器和氣體質量流量計（MFM）用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工 藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、 光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

氣體質量流量控制器（MFC）和氣體質量流量計（MFM）用于對氣體的質量流量進行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工 藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。