SA-FWM20W-A 晶圓激光刻號機(jī)

晶圓激光刻號機(jī)

產(chǎn)品介紹

是專業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專用設(shè)備，適用于2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。

支持OCR字符和點(diǎn)陣字符，

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

全自動生產(chǎn) 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圓

工業(yè)級激光器，穩(wěn)定可靠，免維護(hù)

光束質(zhì)量好，標(biāo)識精細(xì)，可讀性好

操作界面友好，使用方便 ，

無需外接水冷機(jī)

晶圓激光刻號機(jī)

2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號、打碼。

技術(shù)規(guī)格                      項(xiàng)目                          單位                             數(shù)值

*大加工尺寸                   晶圓尺寸                        inch                              6英寸

激光器功率                   激光器出口處                       w                               20瓦

激光器波長                   紅外光纖激光器                     nm                             1064納米

                           定位精度                        mm                              0.05毫米

                           重復(fù)精度                        mm                              0.02毫米

振鏡                        *大掃描速度                      mm/s                           7000毫米/秒

                            振鏡類型                      數(shù)字/模擬                       高速數(shù)字式振鏡

                           *大負(fù)載                          Kg                             1.5千克

協(xié)作機(jī)械手                     *大臂長                         mm                             400毫米

                            重復(fù)精度                         mm                           正負(fù)0.03毫米

                            Z向行程                          mm                             210微米

                             電源                           AC                         兩相220~240V 50HZ

                            *大耗電量                         Kw                            1.5千瓦

                           單獨(dú)接地電阻                        Ω                            小于4歐

                           共用接地電阻                        Ω                            小于1歐

                          壓縮空氣供給壓力                      MPa                          0.5~0.8兆帕

                           廠務(wù)真空供給                        Kpa                          -0.6千帕

其他規(guī)格                      排風(fēng)口口徑                         mm                            50毫米