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            化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>真空烘箱>customized 半導體烘箱

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            customized 半導體烘箱

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            深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

            致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

            公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










            冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

            產地類別 進口 應用領域 綜合

            1 產品概述:

               半導體烘箱是一種專門用于半導體芯片、電子元器件等材料進行熱處理的設備。它通過高溫加熱的方式,對半導體芯片進行烘干、固化、烘焙等處理過程,以提高半導體芯片的性能穩定性和可靠性。半導體烘箱采用先進的溫度控制系統和加熱技術,能夠精確控制加熱過程中的溫度波動范圍,確保半導體芯片在熱處理過程中不受損害。

            2 設備用途:

            半導體烘箱的主要用途包括:

            1. 半導體芯片制造:在半導體芯片制造過程中,烘箱用于烘干、固化和烘焙芯片,以提高芯片的穩定性和可靠性。

            2. 電子元器件處理:對于電子元器件,如LED封裝、印刷電路板等,半導體烘箱可用于去除水分、氣體,保證元器件的質量穩定性和壽命。

            3. 熱處理實驗:在科研和實驗領域,半導體烘箱也常用于烘烤、老化實驗,檢驗電子元氣件、儀器儀表等材料在溫度環境下的性能指標。

            3 設備特點

            半導體烘箱的特點主要體現在以下幾個方面:

            1. 高精度溫度控制:半導體烘箱具備高精度的溫度控制系統,能夠精確控制加熱過程中的溫度波動范圍,通常誤差小于1℃,確保熱處理過程的穩定性和可靠性。

            2. 先進加熱技術:采用不銹鋼加熱管等高效加熱元件,加熱速度快,熱效率高,且使用壽命長。

            3. 多種送風方式:部分半導體烘箱采用的水平+垂直送風相結合的強壓鼓風循環系統,使溫度更加均勻,提高熱處理效果。


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            技術參數和特點:

            1. 含氧控制:500PPM以內

            2. 溫度范圍:Room temp. +20~500

            3. 控溫精度:±1.0

            4. 溫度均勻性:±2.5%

            5. 升溫時間:RT~ 500℃≤60min




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