FEMTO 德國Diener等離子清洗機

型號為Femto的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Femto 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。型號為Femto的德國Diener等離子清洗機主要應用于以下領域：

分析、考古、汽車、研究和開發部門、半導體技術、小批量生產、塑料技術、醫療技術、微系統技術、傳感技術、滅菌、紡織技術

1.基本裝備

根據具體組件/選裝件，外殼會有所不同

腔室容積：根據具體版本，分為 1.9 - 6 升

供電電源：臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位

2.真空腔室

圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 100 mm，長 278 mm 或長 600 mm）

矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103）

矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 103 mm x 103 mm，長 280 mm 或長 600 mm）

圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm）

圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm

3.裝載件：

產品支架（選項：水冷型），石英玻璃舟皿，粉末轉鼓 ，散裝件轉鼓 ，鋁板，不銹鋼板，硼硅玻璃，石英玻璃

4.電機：單層或多層，RIE

5.控制系統

半自動型

Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系統 (Windows 10 IoT)

6.壓力測量：Pirani，電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）

7.計時器：數字

8.發生器

頻率：    

40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

100 kHz：功率 500 W

80 kHz：功率 1000 W

13.56 MHz： 功率 0 - 200 W

2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型

9.真空泵：不同規格，來自不同制造商（根據需要配備活性炭過濾器）

10.其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。