SAM全自動 全自動超聲波掃描顯微鏡

SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是專門為電子器件、電路板、IGBT和其他復雜部件的生產控制而開發的產品系列。該系統符合10級潔凈室標準，主要應用包括驗證缺陷，如：縫隙、氣泡、孔洞、夾雜物、脫層區域、焊接或銀燒結界面的厚度變化等，支持同時檢查多個界面。

SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是專門為內聯生產控制而開發的產品系列，符合100/1000級無塵室標準，該系統專為檢測晶圓界面、晶圓鍵合、 MEMS 產品、或者混合粘合應用而設計，可用于檢測空洞、夾雜物或分層或微空隙。多傳感器配置可使得晶圓檢測通過率高。

SAM 大視場掃描系統:SAM大視場系列是專門為分析DCB’s或電源模塊而開發的產品系列，可支持檢測掃描范圍為300µm x 300µm到1300mm x 1300mm。多至8個傳感器可實現超高檢測通過率。該系統包括自動缺陷審查軟件、GEM/SECS通訊，以及MES通訊。激光打標站和分類輸出端口可供選擇。