CDS化學品供液系統 高精度控制

CDS化學供液系統（Center Chemical Dispense System）是一種用于生產線24小時不間斷供應化學液的系統，廣泛應用于半導體、LED、太陽能光伏等行業的濕法設備化學液自動供給。以下是對該系統的介紹：

一、核心功能與應用場景

功能定位：通過自動化控制實現化學液的自動加液、補液、配液及輸送，確保生產過程中化學液的精準供應。

典型應用：為光刻顯影、晶圓清洗、濕法刻蝕、薄膜制備、化學機械拋光等工藝提供腐蝕性或高純度化學液支持，覆蓋半導體制造、電子元件生產、實驗室科研等領域。

二、系統組成與關鍵組件

供液柜：采用耐酸堿腐蝕材料（如PP、PVDF、PFA）制成全封閉結構，配備抽風系統、泄漏偵測器及防爆設計，確保安全操作。

輸送系統：包括耐腐蝕計量泵（如氣動隔膜泵）、PFA材質過濾器、除泡器及雙套管管道，防止氣泡和微粒污染，保障輸送精度。

控制系統：由PLC程序控制，支持自動/手動模式切換，接收設備信號后自動啟停泵閥，實現無人值守供液。

三、技術特點與優勢

安全性：雙套管設計可檢測內管泄漏，防爆照明和氣體偵測器應對易燃溶劑，泄漏偵測器實時報警。

精準性：計量泵和過濾系統確保配比精確，滿足溫度、濃度、流速等工藝要求。

連續性：通過備用供液桶和自動切換機制，實現24小時不間斷供液，避免生產中斷。

CDS化學供液系統通過高度自動化的設計，解決了高危險性化學液的安全輸送與精準配比問題，是現代工業濕法工藝的核心基礎設施。其技術迭代方向包括更智能的物聯網監控、更耐腐蝕的材料應用以及更高水平的環保兼容性。