腦機(jī)接口微針

公司為海內(nèi)外多家單位，在微針、AR斜齒/閃耀光柵、超構(gòu)透鏡（單晶硅、非晶硅、氮化硅）、硅光機(jī)構(gòu)、深硅/體硅結(jié)構(gòu)等等器件與機(jī)構(gòu)方面，提供過(guò)代工代研服務(wù)。

工藝能力：電子束曝光，納米壓印，激光直寫(xiě)（無(wú)掩膜光刻），真空鍍膜，濺射鍍膜，PECVD，LPCVD，ICP-RIE，深硅刻蝕，金屬刻蝕，介質(zhì)刻蝕，離子束刻蝕，反應(yīng)離子束刻蝕，晶圓鍵合，劃片，等等。

常做器件/結(jié)構(gòu)：微針，AR斜齒閃耀光柵，超構(gòu)透鏡（單晶硅，非晶硅，氮化硅），硅光結(jié)構(gòu)，深硅/體硅結(jié)構(gòu)，等等。

Process capabilities: electron beam exposure, nanoimprinting, laser direct writing (maskless lithography), vacuum coating, sputtering Coating, PECVD, LPCVD, ICP-RIE, deep silicon etching, metal etching, dielectric etching, ion beam etching,Reactive ion beam etching, wafer bonding, scribing, and more.

Commonly used devices/structures: microneedles, AR oblique tooth blazed gratings, superlenses (monocrystalline silicon, amorphous silicon, silicon nitride),Silicon optical structure, deep silicon/bulk silicon structure, etc.