檢測樣品：集成電路

檢測項目：光酸劑

方案概述：光刻膠中的光酸劑（Photoacid Generator, PAG）是關鍵成分，在紫外曝光后釋放酸，驅動光刻膠的化學反應。英邁儀器的**電霧式檢測器（CAD）**能夠勝任對光酸劑的檢測，特別是在監控PAG濃度及其穩定性方面，對保障半導體制程至關重要。