高溫真空氣氛爐的操作規程詳解

　　1．打開高溫真空氣氛爐爐門取出隔熱屏，放入處理物品于高溫區內，再將隔熱屏放好，關閉爐門鎖緊，并關好所有閥門。

　　2．接通氣氛管式爐電源，打開循環水。

　　3．高溫真空氣氛爐操作使用方法：

　　①開機械泵，開真空閥，抽真空至真空壓力表達到-0.1mPa后關閉真空閥。

　　②開保護氣體減壓閥，開真空閥，對爐膛充氣，使真空壓力表回至“0”后，關閉真空閥。

　　③重復步驟①和②三次，使爐膛內的空氣被排盡。

　　④關機械泵。對爐膛充氣使真空壓力表回至“0”后，打開放氣閥，調節微調閥，使氣體流量穩定，出氣端水泡連續。

　　⑤對爐膛進行加溫，應按“調節儀”進行，結合實驗工藝要求操作。

　　⑥實驗結束，爐子溫度降至實驗工藝要求范圍后，先關閉放氣閥，在關閉真空閥，關微調閥和氣體減壓閥。

　　⑦關閉總電源、循環水（一般爐溫小于60℃，關閉循環水）。

　　高溫真空氣氛爐的注意事項：

　　1、清化jia(KCN)不可與酸類混置，因兩者可產生劇毒之KCN氣體。

　　2、除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區。

　　3、一旦發現有妨礙安全之事物時，請立即通知有關人員(技術員等)。

　　4、請節約純水用量。

　　5、實驗工作完畢時，若無人繼續使用，請關特殊氣體，保留N2流動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。

　　6、處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。

　　7、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。

　　8、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

　　9、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。

　　10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

　　11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。