近紅外光譜儀的準確性包括波長準確性和光度準確性兩部分。

　　波長準確度指測定時儀器顯示的波長值和分光系統實際輸出的單色光的波長值之間的符合程度。波長準確度一般用波長誤差。由于近紅外分析是用已知樣品所建立的模型來分析未知樣品的，如果儀器的波長準確度不能保證，則不同測定光譜就會因儀器波長的移動(即X軸發生了平移)，而使整組光譜數據產生偏移，進而造成分析結果的誤差。因此保證波長準確度不僅是近紅外光譜儀能夠準確測試樣品的前提，也是保證分析結果準確的前提，更是保證模型能夠準確傳遞的前提。

　　儀器的波長準確度主要取決于其光學系統的結構，此外還會受到環境溫度的影響。濾光片型近紅外光譜儀和色散型近紅外光譜儀受其關心光學系統結構的限制，其波長準確度較低，使用中需要經常用已知波長且性質穩定的標準物質對儀器進行校正。

　　相比之下，蔚海光學近紅外光譜儀的光學系統結構簡單，干涉儀單色性能*的氦-氖干涉系統作為采樣標尺，且內部一般還裝有波長校準系統，因此儀器的波長準確度一般都非常高。

　　光度準確性指儀器對某物質進行測量時，測得的光度值與該物質真實值之差。儀器ideas光度準確性主要由檢測器、放大器、信號處理電路的非線性引起，在光譜圖中表現為Y軸的誤差，通常直接影響近紅外定量分析結果的準確性。