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X射線熒光光譜儀的測試步驟
X射線熒光分析是一種物理分析方法， X射線熒光光譜儀分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的的產(chǎn)生與特性當用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加速度會產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡稱為連續(xù)潛或韌致輻射。另一方面，化學元素受到高能光子或粒子的照射，如內(nèi)層電子被激發(fā)，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。
X射線熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：激發(fā)系統(tǒng)，主要部件為X射線管，可以發(fā)出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發(fā)熒光X射線；分光系統(tǒng)，對來自樣品待測元素發(fā)出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；探測系統(tǒng)，對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，處理探測器信號，給出分析結(jié)果。
X射線熒光光譜儀的測試步驟：
（1）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數(shù)法、半基本參數(shù)法、經(jīng)驗系數(shù)法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數(shù)法測試。
（2）將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣至樣品室，X射線管發(fā)出原級X射線照射樣品，激發(fā)出待測元素的熒光X射線。
（3）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據(jù)選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。