方阻測試儀的結構及原理

1.KDY1A便攜式電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

   本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規定設計。

   它主要由電器測量部份（主機）及四探針頭組成，需要時可加配測試架。

   為減小體積，本儀器用同一塊數字表測量電流及電阻率。樣品測試電流由高精度的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產品檢測。對1～100Ω·cm標準樣片的測量誤差不超過±3%，在此范圍內達到國家標準一級機的水平。

2、測試儀結構及原理

測試儀主機由主機板、前面板、后背板及機箱組成，數字表、測試電流換檔開關、電阻率/方阻轉換開關、校準/測量變換開關以及電流調節電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關、保險管及四探針連接插座。機箱底板上只裝了主機板。前后面板與主機板之間的聯接均采用接插件，便于拆卸維修。

KDY1A型電阻率測試儀的基本原理是恒流源給探頭1.4探針提供穩定的測量電流I，由2、3探針測取被測樣品上的電位差V，