電感耦合等離子體質譜儀（簡稱ICP-MS），是20世紀80年代發展起來的一種新的微量（10-6）、痕量（10-9）和超痕量（10-12）元素分析技術。可測定元素周期表中大部分元素，極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。

電感耦合等離子體質譜儀分析速度快、操作簡單、靈敏度高、背景噪音低、消除干擾效果更佳、維護方便。一鍵式等離子體設置使得等離子體的優化更為簡便具有的重現性。等離子體屏蔽技術，極大地提高儀器的靈敏度，改善低質量數元素的檢出限，達到ppt水平。具有*的活動接口門結構，可在真空下替換和裝卸采樣錐與截取錐，便于日常維護。六級桿碰撞反應池，提高離子傳輸效率和消除多原子離子干擾能力。無需數/模切換，由計算機全自動設定和控制，實現9個數量級的濃度動態范圍。新型真空腔體結構，無任何導線連接，各個組件采用不對稱安裝和插入式安裝。

應用領域
1、環境領域：飲用水、海水、環境水資源食品、衛生防疫、商檢等。

2、半導體領域：高純金屬，高純試劑，Si 晶片的超痕量雜質，光刻膠等。

3、醫藥及生理分析領域：頭發、全血、血清、尿樣、生物組織等醫藥研究，特別是全血鉛的測定。

4、核工業領域：核燃料的放射性同位素的分析，初級冷卻水的污染分析等。

5、其他領域：如化工，石化、地質等。