電感耦合等離子體質(zhì)譜的原理是從10000K高溫的等離子體中通過(guò)接口提取離子進(jìn)入真空度約為10-6Torr的質(zhì)譜儀。樣品以液體氣溶膠(在激光燒灼中是固體顆粒)形式被引入，在等離子體被電離，在此區(qū)域基體和待測(cè)元素的離子被引入質(zhì)譜儀進(jìn)行分離，最后由離子檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。這一原理使得ICP-MS具有較好的同位素分析的選擇性和靈敏性。但也因此存在其自身的弱點(diǎn)，樣品是“流人”質(zhì)譜儀，而不是像火焰AAS和ICP -AES那樣“通過(guò)”激發(fā)源。這意味著產(chǎn)生熱的問(wèn)題、腐蝕、化學(xué)侵蝕、堵塞、基體沉淀和漂移的可能性都比其它原子譜儀器要高得多。
 

   然而只要充分認(rèn)識(shí)到這一事實(shí)，對(duì)儀器組件定期檢查可以減輕甚至消除這些潛在的問(wèn)題。需要定期或半定期檢查和維護(hù)的主要區(qū)域是：進(jìn)樣系統(tǒng)、等離子體炬管、接口區(qū)域、離子光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械泵、空氣過(guò)濾器和循環(huán)水過(guò)濾器。
 

   ICP矩管維護(hù)保養(yǎng)對(duì)于ICP矩管，特別是使用次數(shù)較多的矩管，矩管內(nèi)壁會(huì)不斷累積樣品，導(dǎo)致檢測(cè)過(guò)程出現(xiàn)殘留效應(yīng)，需要定期進(jìn)行更換清洗。清洗矩管過(guò)程中，必須按照廠家手冊(cè)操作對(duì)ICP矩管進(jìn)行拆卸清洗，清洗完畢安裝時(shí)必須保證各氣路與矩管相接的部分具有良好的氣密性。
 

    對(duì)于年限較長(zhǎng)的ICP-MS，矩管部分的連接處氣密性差，可以在原有墊圈的基礎(chǔ)上再多加一個(gè)橡膠墊圈，并在矩管玻璃上纏一小圈耐高溫生料帶，保證電極針能夠插入的足夠深，以方便點(diǎn)火。