ICP - MS 技術以其靈敏、快速掃描以及干擾較少的特點迅速發展成為一種應用廣泛且*的分析技術。ICP - MS 是以電感耦合等離子體為離子源, 以質譜計進行檢測的無機多元素分析技術。被分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中, 然后進入由射頻能量激發的處于大氣壓下的氬等離子體中心區, 等離子體的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離。部分等離子體經過不同的壓力區進入真空系統, 在真空系統內, 正離子被拉出并按照其質荷比分離。檢測器將離子轉換成電子脈沖, 然后由積分測量線路計數。電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關。通過與已知的標準或參考物質比較, 實現未知樣品的痕量元素定量分析。自然界出現的每種元素都有一個簡單的或幾個同位素, 每個特定同位素離子給出的信號與該元素在樣品中的濃度成線性關系。
ICP-MS具有靈敏度高，多元素定性定量同時分析等優點。因而成為廣泛應用的分析儀器：
1、環境樣品分析。包括自來水、地下水、地表水、海水以及土壤、廢棄物的分析。
1）水環境分析
水環境中痕量元素濃度的檢測主要有兩個目的：一是研究元素在自然環境中的地球化學循環，二是基于環境保護與監測的要求。環境分析的主要工作就是痕量分析。ICP-MS具有多元素同時測定的能力及高的檢測靈教度（ICP及火焰原子吸收的檢測靈敏度不能滿足環保監測的要求）。
2）土壤、沉積物的元素測定
研究污染土壤、沉積物中的重金屬元素的再釋放及其影響因素，對預測污染土壤、沉積物中重金屬元素的遷移和歸宿以及提出正確的、費用可行的整治辦法具有重要指導意義。隨著各種新的分析技術的出現，各種環境要求的相關法規對環境樣品的檢測下限要求越來越低。對土壤和沉積物中金屬元素的測定也提出了更高的要求。
3）大氣顆粒中元素的分析-----ICP-MS是常用的顆粒中痕量金屬元素和其它無機元素分析手段
2、半導體行業所用的各種材料，如高純試劑、超純金屬中痕量雜質的分析。
如：高純材料分析應用
高純稀土（REE）已被廣泛應用于高新科技的各個生產領域中，例如顯示器、電子元件、光電子器件、超導體、超磁體、陶瓷等。在稀土材料的生產和應用過程中，稀土材料的純度對產品的性能及價格起到決定的作用。傳統的ICP分析、X射線熒光分析均有較大局限性如分析周期長、檢測線差等。ICP-MS由于極地的檢測限，干擾少，多元素同時分析，動態范圍廣在稀土純度分析中具有魅力的技術。
3、生化，臨床研究，如頭發、血液、尿樣、生物組織的分析毒理分析。元素形態分析以及藥品質量分析
如：ICP-MS 在公安法醫領域的應用
ICP-MS技術具有同位素比測定功能。特定元素的同位素比樣品的來源地具有相關性。可用于溯源、判別分析中。該技術可應用于公安法醫領域，例如毒品來源及產地判別。
另外，與傳統的多元素分析技術ICP比較，對一些常見及罕見能引起中毒的元素，如As、Hg、Pb、 Be、Se、Ti等ICP-MS的檢測下限要低10000倍以上，對公安法醫領域有極為重要的意義，如中毒事件所用無機元素型毒物的快速確認、中毒時間的確認、射擊殘留物特定分析、特性材料的定性分析、來源分析、毒性分析等。
采用ICP-MS與激光燒蝕技術（LA）聯用，可做交通事故判斷、筆記舉水鑒定及取證樣品分析等。
4、鋼鐵、合金、玻璃、陶瓷等樣品的分析。
5、地質學及同位素比的研究
1）地質樣品分析的應用：當前，地學研究和正在開展的多目標地質調查隊分析技術提出越來越高的要求：要求測定的元素越來越多、要求的檢測限越來越低。ICP-MS在地質樣品分析中應用的早也廣泛，并且始終是一個重要領域。
2）同位素比值的應用
ICP-MS可快速分析同位素比值。從而可利用同位素稀釋法準確、快速地測定各種樣品的痕量元素含量和樣品種類及來源判斷。
6、醫藥、食品工業
如：中藥和食品微量元素的測定
中藥及食品中一方面需分析無機營養元素（Cu、Ca、Mg、Fe等），另一方面，需分析無機有毒元素（Pb、 As、Hg、Cd），ICP-MS可對質量數3-260aum的元素同時檢測，動態范圍可達7-8個數量級，可同時測定含量差別較大的元素，簡便、快捷、靈敏度好及準確度高。
7、石油化工、核工業等領域的分析
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