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            電子級正硅酸乙酯 - 水分含量的測定

            閱讀:543      發布時間:2024-10-20
            分享:


            GB/T 43965-2024 電子級正硅酸乙酯

            范圍
            本文件規定了半導體行業用電子級正硅酸乙酯的技術要求、檢驗規則、型式試驗、標志、包裝、運輸及貯存的要求,描述了試驗方法、分析方法與測定結果評價。
            本文件適用于沉積二氧化硅的電子級正硅酸乙酯。

            術語和定義
            本文件沒有需要界定的術語和定義。

            技術要求
            電子級正硅酸乙酯應符合表1的規定。
            表1.jpg

            表1續.jpg

            試驗方法
            試驗環境
            水分測試在氮氣保護的手套箱中進行,箱內參數壓力設定為0.42mbar,氧含量的體積分數不大于2×10-0,水含量的體積分數不大于2×10-6。

            水分含量的測定
            應按 GB/T 26793 中的規定執行。
            可采用其他等效的方法測定正硅酸乙酯中水含量。當測定結果有異議時,按 GB/T 26793 規定的方法為仲裁方法。
            GB/T 26793-2011 庫侖法微量水分測定儀


            京都電子KEM 庫侖法卡爾費休微量水分測定儀 MKC-710S

            MKC-710S.jpg

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