超純水機是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水機又稱做:超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。優質超純水出水能達到18.25兆歐。

　　超純水機由預處理系統、精處理系統、后處理系統三大部分組成。原水經石英砂單元、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物(顆粒物質)、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕后續的反滲透、電除鹽等精處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。

　　超純水機的工藝配置：

　　1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

　　2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)

　　3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(最新工藝)

　　4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)

　　5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

　　6、預處理系統→一級反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→離子交換系統→用水對象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)