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高溫四探針電阻測(cè)試儀核心特點(diǎn)與功能
閱讀:27發(fā)布時(shí)間:2025-6-20
高溫四探針電阻測(cè)試儀是一種專為高溫環(huán)境下測(cè)量材料電學(xué)性能設(shè)計(jì)的設(shè)備,結(jié)合了高溫環(huán)境模擬與四探針測(cè)量技術(shù),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、導(dǎo)電薄膜及新材料研發(fā)領(lǐng)域。其核心特點(diǎn)與功能如下:
一、核心功能
?高溫環(huán)境適配?:
集成高溫箱或?qū)S酶邷靥结槉A具,支持高溫條件下(具體溫度范圍需參考設(shè)備型號(hào))的穩(wěn)定測(cè)量。
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度變化,繪制電阻率/方阻隨溫度變化的曲線圖譜,分析材料電導(dǎo)率溫度特性。
?雙電測(cè)技術(shù)?:
采用四探針雙位組合測(cè)量法(雙架構(gòu)測(cè)試),自動(dòng)修正探針間距誤差、樣品邊界效應(yīng)及機(jī)械游移對(duì)結(jié)果的影響,提升精度。
支持電阻率(10??–10? Ω·cm)、方塊電阻(10??–10? Ω/□)、電導(dǎo)率(10??–10? s/cm)及電阻(10??–10? Ω)的測(cè)量。
二、技術(shù)特點(diǎn)
?探針設(shè)計(jì)?:
探針材質(zhì)為碳化鎢或高速鋼,耐高溫且機(jī)械強(qiáng)度高,確保高溫接觸穩(wěn)定性。
部分型號(hào)配備真空吸附或恒壓測(cè)試臺(tái),適應(yīng)晶圓、薄膜等不同形態(tài)樣品。
?智能控制?:內(nèi)置步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu),自動(dòng)調(diào)節(jié)探針壓力,避免高溫下人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
計(jì)算機(jī)軟件自動(dòng)控制測(cè)試流程,實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)并生成報(bào)表,支持多點(diǎn)位自動(dòng)掃描。
?溫度補(bǔ)償?:內(nèi)置溫度傳感器,實(shí)時(shí)矯正溫度引起的測(cè)量偏差,確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性 。
三、典型應(yīng)用場(chǎng)景
?半導(dǎo)體材料?:
硅/鍺單晶棒、晶片的電阻率測(cè)定;硅外延層、擴(kuò)散層、離子注入層的方塊電阻測(cè)量。
?導(dǎo)電薄膜與涂層?:ITO玻璃、金屬箔膜、導(dǎo)電橡膠、石墨烯膜等材料的方阻與電導(dǎo)率測(cè)試。
?新材料研發(fā)?:導(dǎo)電陶瓷、燃料電池雙極板、正負(fù)極材料粉末的電阻率分析(需適配粉末測(cè)試模塊)。
四、關(guān)鍵性能參數(shù)
?指標(biāo)? ?范圍/精度? ?
電阻率測(cè)量 10??–10? Ω·cm(誤差≤±2%)
方塊電阻 10??–10? Ω/□
恒流源輸出 1μA–100mA(六檔可調(diào),精度±0.05%)
最大樣品尺寸 400mm×500mm(真空吸附臺(tái))
五、選型建議
?科研場(chǎng)景?:優(yōu)先選擇支持變溫曲線分析及多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)繪的型號(hào)(如?Pro)。
?工業(yè)檢測(cè)?:考慮手持式或集成真空臺(tái)的設(shè)備,提升在線檢測(cè)效率 。
?特殊材料?:粉末樣品需匹配專用壓片模具。
高溫四探針測(cè)試儀通過(guò)環(huán)境模擬與動(dòng)態(tài)修正技術(shù),解決了材料在高溫下的電學(xué)性能精準(zhǔn)評(píng)測(cè)需求,是半導(dǎo)體工藝開(kāi)發(fā)與新材料研究的核心設(shè)備之一。
高溫四探針電阻測(cè)試儀是一種專門用于測(cè)量材料在高溫環(huán)境下電阻率/方阻的精密設(shè)備,其應(yīng)用場(chǎng)景主要集中在需要高溫、高精度電阻測(cè)量的領(lǐng)域。以下是其主要應(yīng)用場(chǎng)景:
1. 半導(dǎo)體材料與器件
半導(dǎo)體晶圓測(cè)試:測(cè)量硅片、碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等半導(dǎo)體材料在高溫下的電阻率,評(píng)估材料性能。
功率器件開(kāi)發(fā):用于IGBT、MOSFET等功率電子器件的高溫導(dǎo)電性能測(cè)試,模擬實(shí)際工作環(huán)境。
薄膜材料:測(cè)量高溫沉積的導(dǎo)電薄膜(如ITO、金屬薄膜)的方阻,優(yōu)化鍍膜工藝。
2. 新能源材料
鋰離子電池材料:正極/負(fù)極材料的高溫電阻測(cè)試(如鈷酸鋰、磷酸鐵鋰、石墨等),研究材料在高溫下的導(dǎo)電穩(wěn)定性。
固態(tài)電解質(zhì)材料的離子電導(dǎo)率評(píng)估。
燃料電池:測(cè)試質(zhì)子交換膜、電極材料在高溫下的電阻特性。
3. 高溫超導(dǎo)材料
測(cè)量超導(dǎo)材料在臨界溫度附近的電阻變化,研究超導(dǎo)轉(zhuǎn)變特性。
4. 陶瓷與玻璃材料
高溫結(jié)構(gòu)陶瓷(如氧化鋁、氮化硅)的絕緣性能測(cè)試。
導(dǎo)電陶瓷(如氧化鋅壓敏電阻)的電阻 溫度特性分析。
5. 金屬與合金
高溫合金(如鎳基合金、鈦合金)的電阻率測(cè)量,用于航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)部件材料評(píng)估。
金屬熔體(如液態(tài)金屬)的電阻率在線監(jiān)測(cè)。
6. 科研與新材料開(kāi)發(fā)
新型功能材料(如鈣鈦礦、拓?fù)浣^緣體)的高溫電學(xué)性能研究。
材料熱穩(wěn)定性測(cè)試,模擬環(huán)境(如航天、核工業(yè))下的電阻變化。
7. 工業(yè)質(zhì)量控制
生產(chǎn)線上對(duì)耐高溫電子元件(如高溫傳感器、加熱元件)的電阻一致性檢測(cè)。
燒結(jié)工藝過(guò)程中材料的實(shí)時(shí)電阻監(jiān)控,優(yōu)化燒結(jié)曲線。
技術(shù)特點(diǎn)
高溫范圍 :通常支持室溫~1000℃甚至更高(依賴爐體設(shè)計(jì))。
四探針?lè)?/span>:消除接觸電阻影響,適合高阻、低阻材料。
自動(dòng)化集成 :可與探針臺(tái)、真空系統(tǒng)聯(lián)用,實(shí)現(xiàn)原位測(cè)試。
典型行業(yè)
半導(dǎo)體制造、新能源電池廠、材料研究所、航空航天實(shí)驗(yàn)室、高等院校等。
如果需要更具體的場(chǎng)景(如某類材料的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)或設(shè)備選型建議),可以進(jìn)一步補(bǔ)充說(shuō)明!
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