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電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，度高，對樣品的形狀無嚴格要求。
常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。
四探針電阻率測試儀測試四探針筆方法：
一般情況下，更換鋼針之類，不需要拆開探頭，只需要用拔出要更換的鋼針，再重新安裝新針，如果斷針在孔內并且不拆開難以取出，必須按照以下步驟進行操作：
1、先松開筆身尾部端側面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉時同步旋轉，防止扭線斷線，短接;
2、輕輕擰開探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，(四片銅片每片間夾一片絕緣片，兩邊的銅片外側各兩片)，將斷針從銅片卡口座里取下即可;
3、特別注意一定不能將銅片取下時的位置錯亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接;
4、安裝時銅片及絕緣片按照拆下時的排列輕輕塞進探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲;
5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部。
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