光學元件在各個領域都有廣泛應用，對光學元件的表面加工精度提出越來越高的要求。如何檢測光學元件的加工精度，從而用于優化加工方法，保證最終元器件的性能指標，是光學元件加工領域的關鍵問題之一。

光學元件的加工精度包括表面質量和面型精度，這些參數會影響其對光信號的傳播，進而影響最終器件的性能。

此外，各種新型光學元件也需要檢測其表面輪廓，比如非球面，衍射光學元件，微透鏡陣列等。除了最終光學元件的加工精度以外，各種光學元件加工工藝也需要檢測中間過程的三維形貌以保證最終產品的精度，包括注塑、模壓的模具，光學圖案轉印時的掩膜版，刻蝕過程的圖案深度、寬度等。

布魯克的三維光學顯微鏡配備雙光源技術，同時實現白光干涉和相移干涉成像，適用于各種不同光學樣品、模具的三維形貌測量。在光學加工領域得到廣泛應用。

· 設備可以用于光學元件表面質量檢測，可以通過表面粗糙度、表面斜率分布等判斷光學元件整體散射率，也可以統計局部的各種缺陷。

· 設備還可以用于各種光學元件的面型分析，除了手動分析以外，軟件還提供了包括Zernike多項式擬合、非球面分析等功能。

· 由于該設備能準確測量和分析光學元件，在多種先進光學元件中得到廣泛應用，包括光柵、菲涅爾透鏡和二元光學元件等衍射光學元件，以及微透鏡陣列等。

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