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            上海爾迪儀器科技有限公司

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            kashiyama MU系列真空泵產(chǎn)品介紹

            閱讀:331      發(fā)布時間:2025-4-29
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            新品|介紹kashiyama MU系列 真空泵產(chǎn)品介紹

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            kashiyama MU系列優(yōu)點:

            ·在蝕刻等中等負載工藝中實現(xiàn)低功 耗表現(xiàn)

            ·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35%

            ·增強工藝耐久性并提高能源效率

            ·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格

            ·升級的工藝耐久性與節(jié)能性能

             


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            kashiyama MU系列 產(chǎn)品規(guī)格

            產(chǎn)品型號:MUP600E/MUP1200E/MUP1800E/MUH3000


            型號

            MUP600E

            MUP1200E

            MUP1800E

            MUH3000

            最大排氣速度(l/min)

            10000

            19000

            30000

            50000

            極限壓力(Pa)

            0.5

            電源(50/60Hz)

            3P AC200-220V

            功率(kW)

            0.8

            0.95

            1.1

            1.6

            冷卻水量/N2量

            2l/min




            氮氣吹掃

            0-45

            0-60

            外形尺(LWH)mm

            695×285×655

            850x380x950

            910X420X900


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