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滿足越來越嚴苛的電子氣體質量要求，從源頭提升半導體生產工藝

閱讀：1262 發布時間：2022-1-25

從去年開始“缺芯”一直困擾著眾多工業行業的發展，尤其是汽車行業受到的干擾更為突出。全球芯片代工廠都在滿產運轉，各大半導體供應商無不開足馬力提升產量，擴展產能，提高未來市場話語權。而在半導體眾多工藝過程中，集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的電子氣體所扮演的角色也越發不能忽視。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

隨著電子消費品的升級換代，整個電子工業界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標，直接與分析儀器技術進步帶來的低檢測極限（LDL）相關聯。

在實際生產過程中，半導體廠商發現隨著工廠生產工藝的提升，由于對大宗氣體檢測手段的落后，已經無法提供更高雜質檢出限（PPT級）的檢測結果，導致產品良品率持續降低：雖然氣體雜質檢測結果正常，但是生產質量卻頻頻出現問題。對于來自最終用戶對于大宗氣體質量的指責，氣體供應商也認為有必要在大宗氣體出廠之前就能夠完成質量控制監測，盡早減少生產波動、設備故障帶來產品質量問題，確保質量穩定，消除與用戶的爭議。

Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高純電子氣質譜分析儀

APIX dQ是賽默飛世爾科技與歐洲某氣體公司聯合開發的新一代超高純電子氣質譜分析儀。APIX dQ采用了陽離子大氣壓離子化質譜儀（ API-MS）技術, 該技術被電子工業廣泛用于檢測超純大宗氣體中的眾多污染物，如H20, He, CO, CO2, O2, CH4, Kr 和 Xe 等。

相比于其他傳統的、由多個獨立的分析儀組成的分析儀系統，APIX dQ超高純電子氣質譜分析儀有著自身*的優勢：

測量下限低，可達到10ppt級；

1、APIX能夠檢測N2中的雜質和測量下限

氧氣	10ppt
氫氣	150ppt
甲烷CH4	10ppt
水份	30ppt
一氧化碳	50ppt
二氧化碳	10ppt
氮氣	X
氬氣	X
氪氣	10ppt

*注：X表示不分析

2、單臺表能夠同時分析多種雜質（見表1：APIX能夠監測N2中的雜質和測量下限）；

3、響應時間快，每個組分小于1秒鐘；-分析N2中眾多雜質不會超過10秒鐘；

4、運行成本低，維護量小（沒有載氣、助燃氣等要求）；

5、配置簡單，不需要預處理系統，樣氣直接進行分析；

6、真正的在線分析儀，直接在線標定；

7、超過100臺套以上使用業績，為眾多電子廠商和大宗氣體供應商在各地使用。

Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高純電子氣質譜分析儀作為核心檢測手段，能夠為不斷高歌猛進的半導體工業，尤其是芯片制造領域提供可靠、準確，值得信賴的大宗電子氣純度和潔凈度的在線連續檢測。賽默飛四氣體在線雜質檢查方案，提升了芯片的質量和良品率，為芯片國產化和半導體工業的發展提供了基礎保障，將不斷助力于國內數字化、智能化、5G和工業物聯網進程。

滿足越來越嚴苛的電子氣體質量要求，從源頭提升半導體生產工藝

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