在線過程質譜儀是一種專門設計用于工業生產過程中的實時氣體分析設備。這類儀器能夠在生產過程中直接監測氣體成分的變化，為過程控制提供關鍵信息。

在線過程質譜儀依據的是掃描磁扇質譜技術。利用這種技術，氣體可以通過一個多流路進樣閥源源不斷的從取樣系統到達離子源，在這里，氣體分子被離子化和碎片化。離子被高能電場加速后進入電磁質量分析器，目標離子進入檢測器。分子碎片能夠產生重復性較好的“指紋”譜圖，這可以讓具有相似分子量的氣體被精確測量而不受干擾。內置控制器使用一系列的工業標準協議，將氣體濃度數據和其他諸如熱值和碳平衡的計算數據直接傳送到過程控制系統。耐用性和容錯性設計在顯著降低維護要求的同時，可以保證 99.7%以上的投用率。