干式真空泵很早就涌現了,但沒有明確的界說。就接替油封式電泵來說,正常通用的言論是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力規模內作業;在泵的抽氣旋道(如泵腔)中,使不得運用任何廢油和液體、排氣口與大氣相通,能陸續向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。

 

當初商場上提供的干式泵品種很多，就其根本原理來分,只有兩類,即:

 

①體積式的無油真空泵,比如多級羅茨泵、爪型泵、往返式鞲鞴泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力正常為0.1～10Pa,抽速為0.01～0.04m3ös。

 

②動量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接,在陸續流狀態下壓縮比擬高。它是一種粗抽泵,可從大氣壓抽到1022Pa。在構造上采納徑向流和周向流泵的復合式構造,多級串聯抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa,抽速為0.02～0.15m3ös。牽引型干式泵也屬于動量傳輸式的干式泵。

 

該署干式泵和油封式電泵相比,達成同樣的極限壓力,其殘余氣體成一則全然相反,經綜合后果明,油封泵的殘余氣體,CnHm氣體(碳氫復合物氣體)為其重要成份,而干式泵的殘余氣體為大氣的組成成份。這就證實了干式泵的抽氣不復有油的凈化了。

 

有些干式泵在構造設計上,如泵的傳動齒輪和軸承等仍在運用光滑油,也有用分解油,如PFPE油和其油脂等,并采取定然的措施使油蒸汽在泵腔內不存在,寬大來說不是全無油的泵,但經綜合,這種分解油的成份在泵出口處是微不足道的,并無莫須有。