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無塵車間潔凈度等級示例
閱讀：5180發(fā)布時間：2017-12-6
1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級
集成電路生產環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。
舉例說明：
例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.
無塵車間空氣潔凈度等級要求：
光刻、勻膠區(qū) ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 5級
例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.
無塵車間空氣潔凈度等級要求：
光刻、勻膠區(qū) ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) ISO 4級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 6級
2、一些電子產品生產環(huán)境的空氣潔凈度等級
隨著信息產業(yè)技術的發(fā)展，許多電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化，日益要求生產環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量，目前國內外還沒有統(tǒng)一電子產品的空氣潔凈度等級或生產環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產品的生產廠家依據其生產的產品品種、所采用的生產工藝技術、生產工藝設備、生產用原輔料以及無塵車間運行的實踐經驗確定設計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。
舉例說明：
例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點。
各無塵車間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um
清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級
顯影、刻蝕間 ISO 5級
成盒間 ISO 5級
濺射、CVD間 ISO 6級
例二、某高密度磁帶生產用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um
各無塵車間的空氣潔凈度等級要求
涂布頭 ISO 5級
備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間 ISO 6級
組裝、維修間和部分原料庫 ISO 7級
砂磨、化驗間和配件間 ISO 8級
成品庫和部分原料庫 準潔凈間
3、精密機械、精細化工等產品生產環(huán)境的空氣潔凈度等級
例一、一個陀螺儀生產用無塵車間
無塵車間空氣潔凈度等級要求
裝配間 ISO 6級
軸承加工間 ISO 5級
例二、一個感光膠片生產用無塵車間
流延機頭部，涂布機頭部 ISO 5級
涂布室，流延機室 ISO 6級
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