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8865SC13型美國BIRD射頻終端13.56 MHz 超穩(wěn)定油電介質(zhì)射頻終端，為了獲得最大的工藝重復性和一致性，現(xiàn)代等離子體應用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。確保準確且可重復地將射頻功率輸送到腔室的關鍵因素是射頻發(fā)生器的校準、調(diào)節(jié)和監(jiān)控。 Bird 現(xiàn)在提供超穩(wěn)定、低 VSWR 負載，與 Bird 4020 系列等精密功率傳感器一起使用時，可以快速、精確地測量發(fā)電機功率輸出。 8865SC13 不僅提供低 VSWR，而且在工藝關鍵頻率下 VSWR 總變化小于 0.1 dB。無需負載預熱，也無需因校準不同時間長度而產(chǎn)生重復性風險。這可以最大限度地減少與校準相關的誤差并控制更關鍵的過程變量之一。
8865SC13型美國BIRD射頻終端產(chǎn)品規(guī)格如下：
額定功率1千瓦頻率范圍和駐波比DC 至 28 MHz @ 1.1 最大值
駐波比小于1.05:1阻抗Ω50（標稱）駐波比穩(wěn)定性< 0.1 dB，穩(wěn)定頻率下 0 至 100% 額定功率穩(wěn)定頻率13.56兆赫±10赫茲連接器“QC"LC 型（母頭）- 通常提供聯(lián)鎖熱敏開關 - 可選正常情況下關閉。開啟溫度 236 °C (457 °F)熱敏開關額定值115 伏交流電，10 安
230 伏交流電，5 安溫度范圍工作： +5 至 +40 °C（+41 至 +104 °F）
存儲： – 40 至 +45 °C（– 40 至 +113 °F）高度1520 m（5000 英尺）濕度最大 95% 非冷凝冷卻方式油介電和對流電流方面19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸
496 x 184 x 334 毫米重量32 磅。
14.5公斤結束黑色環(huán)氧樹脂
東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。
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