ATOS氣控方向閥的結(jié)構(gòu)原理：輸入信增大，供氣用電磁閥先導(dǎo)閥1換向，ATOS比例方向閥而排氣用電磁先導(dǎo)閥7處于復(fù)位狀態(tài)，則供氣壓力從SUP口通過閥1進(jìn)入先導(dǎo)5，先導(dǎo)壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開啟，排氣閥芯3關(guān)閉，產(chǎn)生輸出壓力。ATOS氣控方向閥此輸出壓力通過壓力傳感器6反饋至控制回路8。ATOS氣控方向閥在這里，與目標(biāo)值進(jìn)行快速比較修正，知道輸出壓力與輸入信成一定比例為止，從而得到輸出壓力與輸入信的變化成比例的變化。由于沒有噴嘴擋板機(jī)構(gòu)，故閥對(duì)雜質(zhì)不敏感，可靠性高。