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            等離子除膠機的具體使用方法

            閱讀:330      發(fā)布時間:2025-4-23
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              等離子除膠機是一種利用等離子體技術(shù)去除材料表面殘留膠層的設(shè)備,基本原理:通過產(chǎn)生高能量的等離子體(如氧、氬、氟等氣體的電離狀態(tài)),與膠層中的有機分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理轟擊,使膠層分解、揮發(fā)或剝離,從而實現(xiàn)無殘留的清潔效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、航空航天等領(lǐng)域。
              等離子除膠機的使用步驟:
              1. 開機前準(zhǔn)備
              檢查設(shè)備狀態(tài):
              確認(rèn)電源、氣路、真空系統(tǒng)連接正常。
              檢查電極、反應(yīng)腔是否清潔,無雜質(zhì)或殘留物。
              參數(shù)設(shè)置:
              根據(jù)膠層類型和材料特性,設(shè)置以下參數(shù):
              氣體類型:常用氧氣或氬氣,部分特殊膠層需氟化氣體。
              溫度:等離子處理可能產(chǎn)生熱量,需監(jiān)控樣品溫度(部分設(shè)備可水冷)。
              2. 裝載樣品
              固定樣品:
              將待除膠的樣品放入反應(yīng)腔內(nèi)的樣品架上,確保樣品與電極之間無直接接觸。
              避免樣品堆疊,保證等離子體均勻覆蓋。
              密封反應(yīng)腔:
              關(guān)閉反應(yīng)腔門,啟動真空系統(tǒng),抽至設(shè)定真空度。
              3. 啟動設(shè)備
              通氣:
              開啟氣瓶閥門,調(diào)節(jié)流量計至設(shè)定氣體流量。
              點火或激發(fā)等離子體:
              開啟射頻(RF)或直流(DC)電源,逐步增加功率至設(shè)定值。
              觀察等離子體是否穩(wěn)定形成。
              計時處理:
              根據(jù)預(yù)設(shè)時間進(jìn)行等離子處理,期間可觀察樣品表面變化。
              4. 結(jié)束處理
              關(guān)閉電源:
              逐步降低射頻功率至0,關(guān)閉電源。
              停止通氣:
              關(guān)閉氣瓶閥門,斷開氣路。
              解除真空:
              緩慢充入惰性氣體或空氣,恢復(fù)常壓后打開反應(yīng)腔。
              取出樣品:
              檢查樣品表面是否完*除膠,必要時可二次處理。
              5. 后處理
              清潔反應(yīng)腔:
              定期清理反應(yīng)腔內(nèi)的殘留物,避免污染后續(xù)樣品。
              樣品冷卻:
              若處理過程中樣品溫度較高,可靜置冷卻或使用冷卻臺。
             

             

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