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            SPA-5800-半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)
            • SPA-5800-半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)
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            貨物所在地:浙江寧波市

            更新時(shí)間:2024-12-26 16:41:56

            瀏覽次數(shù):29

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            半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

            一、等離子體介紹

            1.1產(chǎn)品原理

            通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。

            1.2行業(yè)應(yīng)用
            image.png

            二、產(chǎn)品介紹

            2.1產(chǎn)品概述

            半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)(Plasma cleaner)是國(guó)內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機(jī)",一款擁有強(qiáng)大的“CPU"的大等離子清洗機(jī)。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開(kāi)關(guān)電路,擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式,通過(guò)ARM芯片強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)備數(shù)字化控制,客戶產(chǎn)線,可達(dá)到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控,使清洗效果更穩(wěn)定、更持久,抗干擾性能增強(qiáng),減低故障率,控制維護(hù)成本,提高產(chǎn)能,有效減低生產(chǎn)成本。

            2.2產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

            1、軍工級(jí)硬件設(shè)計(jì),使用環(huán)境溫度范圍可達(dá)到-25℃-50℃,適應(yīng)不同的嚴(yán)苛場(chǎng)景,MTBF時(shí)間可達(dá)到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);
            2、數(shù)字化控制,顯示屏顯示,實(shí)時(shí)監(jiān)控,抗干擾強(qiáng);
            3、采用TI品牌的移相全橋軟開(kāi)關(guān)電路和PFC功率因素校正,相對(duì)模擬硬開(kāi)關(guān)電路效率可提高10%以上,響應(yīng)時(shí)間小于0.1s,抗干擾性強(qiáng);
            4、搭載ST品牌的ARM芯片,人機(jī)交互簡(jiǎn)單明了,強(qiáng)大的遠(yuǎn)程調(diào)試通訊功能,無(wú)縫對(duì)接任意的應(yīng)用場(chǎng)景,自主研發(fā)的軟件對(duì)實(shí)時(shí)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行智能判斷并協(xié)調(diào)工作,可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,穩(wěn)定無(wú)變化;
            5、支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口,強(qiáng)大的遠(yuǎn)程通信功能;
            6、具有6種檢測(cè)功能:氣壓檢測(cè)、主板溫度檢測(cè)、變壓器弧壓檢測(cè)、變壓器初級(jí)峰值電流檢測(cè),電網(wǎng)電流檢測(cè),噴槍轉(zhuǎn)速檢測(cè);
            7、具有十余種故障報(bào)警功能,故障排查定位時(shí)間縮短80%以上;
            8、等離子發(fā)生器同時(shí)支持射流噴槍、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅,一鍵設(shè)置,隨時(shí)變換;
            9、具有過(guò)溫防護(hù)、過(guò)載防護(hù)、短路、斷路、漏電防護(hù)、各種誤操作保護(hù)等防護(hù)功能。

            2.3產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

            結(jié)構(gòu):高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成。

            (A)高壓數(shù)字電源發(fā)生器:

            等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì),本產(chǎn)品采用中頻電源進(jìn)行激勵(lì),數(shù)字化控制方式,可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,保證功率的穩(wěn)定輸出,且輸出精度高,輸出功率不受氣壓波動(dòng),市網(wǎng)電壓波動(dòng),噴槍電極老化等影響。參數(shù)需根據(jù)樣品實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié),以便達(dá)到處理效果。

            (B)等離子發(fā)生裝置噴槍:

            半導(dǎo)體等離子去膠機(jī)搭配高速旋轉(zhuǎn)噴槍:主要處理大面積、形狀較復(fù)雜的材料,處理面積范圍20-80mm,可與原有的生產(chǎn)流水線搭配,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。

            (C)控制系統(tǒng):

             控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機(jī)的運(yùn)行,以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。

            2.4產(chǎn)品規(guī)格

            大氣等離子主機(jī)

            設(shè)備尺寸

            L580*W480*H149mm

            重量

            10KG

            需求電源

            電源:?jiǎn)蜗郃C220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω

            等離子發(fā)生器規(guī)格

            電源功率

            600-1000W可調(diào)(依據(jù)負(fù)載情況設(shè)定范圍)

            電源頻率

            50/60Hz

            遠(yuǎn)程通信方式

            支持485接口,232接口,并有模擬通信接口

            控制方式

            數(shù)字控制,可選本地控制與遠(yuǎn)程控制

            等離子槍頭規(guī)格

            處理寬度

            20-90mm

            槍頭尺寸

            L308*W76*H149mm

            重量

            6.5KG

            槍頭可調(diào)節(jié)高度

            5-15mm

            氣壓范圍

            標(biāo)準(zhǔn)0.2MPA,0.08~0.25MPA可調(diào)

            工藝氣體

            使用氣體

            CDA或者N2

            檢測(cè)與報(bào)警

            檢測(cè)

            氣壓檢測(cè)、主板溫度檢測(cè)、變壓器弧壓檢測(cè)、變壓器初級(jí)峰值電流檢測(cè),電網(wǎng)電流檢測(cè),噴槍轉(zhuǎn)速檢測(cè)

            報(bào)警

            具備轉(zhuǎn)速、溫度、電壓、氣壓、過(guò)載、漏電、功率不匹配、短路、開(kāi)路、過(guò)流等保護(hù)功能

            設(shè)備尺寸圖紙

            2.5.1槍頭尺寸圖

            2.5

            image.png


            2.5.2電源尺寸圖
            image.png

            三、規(guī)格要求

            3.1 廠務(wù)規(guī)格要求

            廠務(wù)規(guī)格要求

            需求電源

            電源:?jiǎn)蜗郃C220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω

            廠務(wù)排氣

            流 量 :5m3/min

            材質(zhì):耐腐蝕材質(zhì)

            廠務(wù)壓縮空氣要求

            管徑:8mm

            材質(zhì):PU 管

            壓力:0.4-0.6MPa

            氣源質(zhì)量應(yīng)該滿足:固體顆粒粒徑<=0.1um,含油量<=0.01mg/m3,壓力露點(diǎn)-40°C以下

            3.2


            配置清單

            序號(hào)

            名稱

            型號(hào)和規(guī)格

            數(shù)量

            備注

            1

            主機(jī)發(fā)生器

            SPA-5800

            1

            臺(tái)

            2

            常規(guī)槍頭

            按客戶要求配備

            1

            臺(tái)

            3

            普通噴嘴

            按客戶要求配備

            1

            PCS

            4

            金屬波紋管長(zhǎng)

            線長(zhǎng)3.5M

            1

            5

            送貨單

            紙質(zhì)文檔

            1

            6

            DB15接頭

            線長(zhǎng)20cm

            1

            7

            產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)

            紙質(zhì)文檔

            1

            8

            產(chǎn)品合格證

            紙質(zhì)文檔

            1

            9

            產(chǎn)品保修卡

            紙質(zhì)文檔

            1

            10

            產(chǎn)品質(zhì)檢報(bào)告

            紙質(zhì)文檔

            1




            損耗清單

            序號(hào)

            名稱

            型號(hào)和規(guī)格

            數(shù)量

            壽命時(shí)間

            1

            噴嘴

            /

            1

            2300H

            2

            電極

            /

            1

            1800H

            3

            皮帶

            /

            1

            4800H

            4

            碳刷

            /

            1

            6000H


              注:耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場(chǎng)的使用條件有關(guān)系,以下壽命時(shí)間僅供參考。


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