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| plasma清洗機 | ||
設備尺寸 | L1100×W940×H1755mm | |
重量 | 600Kg | |
需求電源 | AC380V，50/60Hz，5線，25A（總空開選型為C型以上） | |
等離子發生器規格 | ||
電源功率 | 射頻 | 中頻 |
0~1000W | 0-2000W | |
電源頻率 | 13.56MHz | 40 KHz |
真空系統 | ||
真空泵 | 飛躍單極泵VSV65+鮑斯羅茨泵BSJ70 | |
真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 | |
材質 | 鋁合金 | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 軍工級焊接密封 | |
腔體內部尺寸 | 500×500×600mm（寬×高×深） | |
電極板有效尺寸 | 372（W） X 451(D)mm | |
可用空間間距 | 24mm | |
電極板布置方式 | 水平電極板 | |
工作托盤 | 標配一套，材質可選配(鋁材、鋼絲網） | |
工作空間 | 8層 | |
工藝氣體 | ||
流量范圍 | 0~300SCCM | |
工藝氣體氣路 | 標配兩路，可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質 | |
控制系統 | ||
系統控制 | PC控制 | |
交互方式 | Windows界面 5、設備尺寸圖紙 1、主機尺寸圖紙 | |
二、plasma清洗機的產品介紹
1、產品概述
SPV-150真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
2、產品結構真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分：真空腔及真空系統，等離子體發生器，控制系統。
（A）真空腔及真空發生系統真空腔固定于機柜框架內，左右兩側為可拆門，因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）
（B）等離子體發生器等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內達到一定真空度時，產生等離子體放電現象，放電后電路會自動調節電壓到適當值，保證電路正常穩定放電。
（C）控制系統本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。
3、產品優勢
1、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
2、清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；
3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在全球高度關注環保的情況下越發顯出它的重要性；
4、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生；
5、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點；
6、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝；
7、采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
8、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的；
9、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗。
（1）等離子腔體圖紙
4、產品規格
配置清單 | |||||
序號 | 名稱 | 型號和規格 | 數量 | 備注 | |
1 | 主機 | SPV-150 | 1 | 臺 | |
2 | 真空腔體 | 鋁合金真空腔體L600×W500×H500mm | 1 | PCS | |
3 | 激勵電源 | 射頻電源 | 中頻電源 | 1 | 套 |
頻率：13.56MHz； 功率：0~1000W 全自動真空電容匹配器 | 頻率：40KHz； 功率：0~2000W | ||||
4 | PLC | 德國西門子，S7-200 | 1 | PCS | |
5 | 觸摸屏 | 昆侖通態，七寸屏幕，TPC7072GI | 1 | PCS | |
6 | 流量計 | 英國warwick品牌 | 2 | PCS | |
7 | 真空泵組 | 飛躍單極泵VSV65+鮑斯羅茨泵BSJ70 | 1 | 臺 | |
8 | 真空計 | 英福康 | 1 | PCS | |
9 | 說明書 | 真空等離子清洗機SPV-150操作說明書 | 1 | 份 | |
驗收標準 | ||
項目 | NO. | 內容 |
硬件驗收 | 1 | 設備清單驗收 |
2 | 出廠報告 | |
3 | 說明書 | |
性能驗收 | 1 | 試用樣品進行處理，處理效果和均勻性滿足客戶驗收標準或者合同協議要求。 |
穩定性測試 | 1 | 連續10分鐘等離子清洗測試 |
2 | 試片水滴角測試 | |
驗收日期 | 1 | 設備交付后 2 個月內必須完成驗收 |
損耗清單 | ||||
序號 | 名稱 | 型號和規格 | 數量 | 壽命時間 |
1 | 真空泵過濾芯 | AF60 | 1PCS | 6個月 |
2 | 真空泵油 | A200 | 5L | 3個月 |
3 | 腔門密封圈 | Φ10 | 1PCS | 1年 |
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