原子吸收光譜儀的維護有如下幾個方面：
1. 開機前，檢查各插頭是否接觸良好，調好狹縫位置，將儀器面板的所有旋鈕回零再通電。開機應先開低壓，后開高壓，關機則相反。
2. 空心陰極燈需要一定預熱時間。燈電流由低到高慢慢升到規定值，防止突然升高，造成陰極濺射。有些低熔點元素燈如Sn、Pb等，使用時防止震動，工作后輕輕取下，陰極向上放置，待冷卻后再移動裝盒。裝卸燈要輕拿輕放，窗口如有污物或指印，用擦鏡紙輕輕擦拭。空心陰極燈發光顏色不正常，可用燈電流反向器(相當于一個簡單的燈電源裝置)，將燈的正、負相反接，在燈大電流下點燃20-30min;或在大電流100-150mA下點燃1-2min，使陰極紅熱，陰極上的鈦絲或鉭片是吸氣劑，能吸收燈內殘留的雜質氣體，這樣可以恢復燈的性能。閑置不用的空心陰極燈，定期在額定電流下點燃30min。
3. 噴霧器的毛細管是用鉑-銥合金制成，不要噴霧高濃度的含氟樣液。工作中防止毛細管折彎，如有堵塞，可用細金屬絲清除，小心不要損傷毛細管口或內壁。
4. 日常分析完畢，應在不滅火的情況下噴霧蒸餾水，對噴霧器、霧化室和燃燒器進行清洗。噴過高濃度酸、堿后，要用水*沖洗霧化室，防止腐蝕。吸噴有機溶液后，先噴有機熔劑和丙酮各5min，再噴1%硝酸和蒸餾水各5min。燃燒器如有鹽類結晶，火焰呈鋸齒形，可用濾紙或硬紙片輕輕刮去，必要時卸下燃燒器，用1：1乙醇-丙酮清洗，用毛刷蘸水刷干凈。如有熔珠，可用金相砂紙輕輕打磨，嚴禁用酸浸泡。
5. 單色器中的光學元件嚴禁用手觸摸和擅自調節。可用少量氣體吹去其表面灰塵，不準用擦鏡紙擦拭。防止光柵受潮發霉，要經常更換暗盒內的干燥劑。光電倍增管室需檢修時，一定要在關掉負高壓的情況下，才能揭開屏蔽罩，防止強光直接照射，引起光電倍增管產生不可逆的“疲勞”效應。濕度傳感器探頭, 不銹鋼電熱管, PT100傳感器, 流體電磁閥,鑄鋁加熱器,加熱圈
6. 點火時，先開助燃氣，后開燃氣，關閉時，先關燃氣，后關助燃氣。
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