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            青島森泉光電有限公司

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            如何克服因地面振動影響光刻系統的圖案質量?

            閱讀:1930      發布時間:2021-2-5
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            如何克服因地面振動影響光刻系統的圖案質量

            振動對高級浸沒式光刻的影響 

             

            沒有使用STACIS®

            在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式

             

            使用STACIS®

            STACIS主動隔振實現的模式

               

                    所示的45納米線寬測試圖形是由Amphibian Systems公司生產的*浸入式光刻系統生產的,安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。

              

                    該工具初安裝在鋼和混凝土基座上,基座采用鋼支撐結構,其中包含商業彈性體隔振墊。這個基座沒有達到工具要求的振動標準,模式質量很差。

                    為了減少振動,彈性體墊塊被有效地用金屬墊片短路,從而導致更剛性、非共振結構,但這幾乎沒有改善。振動標準不符合任何版本的基座和模式,質量仍然很差。

                    基座支撐結構被移除,并安裝了STACIS®主動壓電消振系統STACIS基座被直接放置在現有的底座下面。將工具支撐在STACIS上,顯著降低了整體地震振動水平,并達到了制造商的地面振動規范。更重要的是,STACIS在模式質量方面提供了顯著的改進。

             

            不同配置的振動測量。工具規格:0.125 mils /s RMS。垂直軸數據顯示。

            綠色:彈性體減振

            白色:短路彈性體減振

            藍色:STACIS減振        

             *Sematech提供的照片、圖像和振動數據。

             

            關于TMC☆

                  TMC為納米技術設計和制造*的建筑地面隔振系統。TMC隔離器支持超精密測量、儀器和制造。我們繼續領xian于行業*的主動、慣性振動消除系統,具有壓電驅動器和數字控制器。我們的無源產品范圍從簡單的、桌面隔離顯微鏡底座,到幾乎任何尺寸的光學表系統。
                  TMC產品讓光子學、半導體制造、生命科學、藥物發現和納米技術等領域的超精密研究、測量和制造成為可能。我們的產品是在*的、垂直一體化的制造設施中設計和制造的,并以提供優質服務的客戶承諾為后盾。
                  TMC是阿美特克超精密測量部門成員,阿美特克是電子儀器和機電設備的突出者,年銷售額約為50億美金。為材料分析、超精密測量、過程分析、測試測量與通訊、電力系統與儀器、儀表與使用控制、精密運動控制、電子元器件與封裝、特種金屬產品等領域提供技術解決方案。

             

            森泉光電為TMC中國區總代理。

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            2  探測器:光電探測器、單光子計數器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統等等

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            4  光源:半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

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            8 染料:激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發光染料、吸收染料等等

             

             

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