HET-1T多功能高精度二維材料顯微轉移系統

關鍵詞：二維材料，干法，濕法，范德華

適用于石墨烯，硫化鉬，黑磷等單層材料精確定點轉移，以及多層范德華異質結的制備。
由于在制備多層異質結結構的二維半導體材料晶體管的過程中，需要將一層二維材料轉移到另一層二維材料上。在常規的大氣環境中進行轉移操作時，難免會遇到轉移后兩層材料中含有少量氣泡的問題；并且，某些二維材料會受到空氣中水和氧的影響，使得材料本身的性能下降。兩者使得器件性能大大下降。

1. 顯微轉移操作平臺：

a. 四軸可調襯底載物平臺： XY方向行程 20mm，轉移對位操作精度2μm；繞z 軸手動調節旋轉最大±90°，測微器精細調節，行程5°，調節精度0.5°左右； 繞x軸和y 軸傾斜臺，調節方式手動轉輪，臺面厚度20mm，傾斜角度±2°。

b. 襯底載物平臺加熱系統：樣品臺加熱最高溫度為240 ℃，使用 PID 溫度控制器，溫度控制穩定性小于±1℃（穩定性≦±0.1℃），帶加熱開關。

c. 四軸可調載玻片移動平臺：載玻片 XYZ三軸可調，80mm高穩定性臺面，行程25mm，測微絲桿控制；Z軸為29mm直徑百刻線微分頭，便于精細升降操作；樣品送入手動旋轉臺，臺面直徑100mm，粗調旋轉范圍360°，細調旋轉范圍±5°，定位精度1~ 2°；

d. 支持真空自動吸附樣品，確保轉移過程中目標樣品位置精確固定；真空泵電磁閥控制，按鈕控制是否吸附樣品；真空泵：25L-35L/min 流量；

e．雙邊載玻片夾具：輔助夾具片2片，夾具片75*25*1.5mm；

f．集成控制機箱：集成機柜包括電源、顯微鏡LED控制、溫度控制、真空開關控制，工作電壓220V，最大輸出功率800W；

2. 顯微成像光路系統：

a.  單筒顯微鏡：變倍比1:6.5，變倍范圍0.7X-4.5X，標準工作距離90mm，分辨率63-180lp/mm，95mm超長工作距離20倍物鏡，綜合最大放大倍率850~900倍；雙固定位設計，高倍放大下圖像無明顯抖動。

b. 白色LED照明：同軸照明系統，選用高亮度單顆1W LED，色溫5500K，照明均勻；LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器，可調光；

c. 顯微相機：1920x1080高靈敏度CMOS傳感器，30fps速度保存；支持HDMI相機直接輸出到顯示器；曝光時間0.4ms~999ms，自動白平衡；支持WIFI數據傳輸；提供顯微相機操作軟件，支持電腦控制，可軟件測量顯微樣品尺寸及角度；工作溫度-10~ 50攝氏度。

d. 顯微觀察支架：一體式高穩定性支架，長寬高240mm*100mm* 100mm，重量20kg，支持沿 xy方向 50mm行程，可大范圍調節顯微鏡觀察位置；

e. 顯示器：24英寸1920*1200全高清專業顯示器。

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