HTIM-300型高低溫材料電阻率測試儀

HTIM-300高低溫材料電阻率測試儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試，該系統采用四線電阻法測量原理進行設計開發，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進行測試，可以廣泛用于半導體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

二、主要應用領域：

半導體材料電阻測試

復合絕緣材料

陶瓷材料

云母

玻璃材料

導電功能薄膜材料

絕緣超材料

硅橡膠材料

PCB材料
三、主要技術參數：
溫度范圍：-160℃-600℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.5℃
電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法：四線電阻法
測試通道：單通道
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：紫銅鍍金
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數據存儲格式：TXT文本格式
數據傳輸：USB
符合標準：ASTM
供電：220V±10%，50Hz
工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；
存儲溫度：–40 ℃ 至 +65 ℃
工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達 95%（無冷凝）
設備尺寸：400x450x580mm
重量：38kg

案列：交付中科院上海微電子系統研究所

現場交付圖

能提供從-190℃到600℃溫度范圍內的精準控制。

   現場實驗測試變溫電阻測試數據（二）

測試樣品為高阻材料，實驗顯示隨溫度升高，材料電阻在高溫下驟降。在本次交付中，針對客戶需求，對配套軟件進行了定制。

包含兩種測試模式：

①RT測試：樣品電阻隨溫度變化；

②數據時間譜測試：到達設定溫度后，樣品電阻隨時間變化。

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