日立掃描電子顯微鏡是一臺場發射掃描電子顯微鏡，采用冷陰極場發射槍、高真空和精密的數字技術，可進行顯微結構的高分辨率、高質量成像。本系統裝配錐形場發射槍和物鏡，可以在任何掃描速度下進行高分辨率的成像以及高質量的實時圖像顯示，使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像，可以處理直徑大為8英寸的樣品。

　　日立掃描電子顯微鏡是智能計算機掃描電子顯微鏡，保證了與未來計算機技術的兼容性。它的圖形用戶界面可以控制條件設置、樣品臺馬達驅動、成像和數據存檔，確保操作穩定可靠。系統的主計算機采用了網絡技術的Window? 2000，方便于從成像到數據處理的整個過程，使操作人員可以顯示實時圖像、通過網絡將數據保存到外接電腦、檢索和管理數據。

　　掃描電子顯微鏡主要通過探測二次電子和背散射電子來分析樣品的形貌信息和成分信息，也可以連接能譜儀通過采集X射線對樣品進行成分分析。為了提高日立掃描電子顯微鏡圖像分辨率，必須通過將檢測器移動到電磁透鏡上方來盡可能地縮短樣品和透鏡之間的距離。這樣，工作距離可以縮短很短。

　　樣品和電磁透鏡之間的檢測器設計簡單，并且通過電場的作用檢測二次電子。只需要將正電壓施加到檢測器的前端，并且檢測器可以“吸”二次電子。在過去，收集它。在場描電子顯微鏡將探測器安裝到電磁透鏡中之后，盡管樣品和透鏡之間的距離很近，但探測器和樣品之間的距離變得更遠，并且收集二次電子的效率大大降低。

　　為了在不降低圖像分辨率的情況下以低電壓觀察樣品，通常的解決方案是應用減速電壓、管內減速或單色器技術。“但無論哪種解決方案涉及整個電光系統的重新設計和處理。在應用減速電壓后，相當于將樣品表面用作一階透鏡。使用這種”透鏡“，電光系統的設計將更加復雜，同時系統均勻性、的穩定性更高，而一些缺陷將嚴重影響日立掃描電子顯微鏡的低電壓分辨率。