掃描電子顯微鏡是一款全自動(dòng)、無(wú)損顯微分析系統(tǒng)，可針對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)材料和部分有機(jī)材料，迅速提供在統(tǒng)計(jì)學(xué)上可靠且可重復(fù)的礦物學(xué)、巖相學(xué)和冶金學(xué)數(shù)據(jù)，在采礦業(yè)，可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和天然氣行業(yè)，對(duì)鉆井巖屑和巖心試樣進(jìn)行顯微分析，從而降低風(fēng)險(xiǎn)并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動(dòng)分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

　　由于高能電子與物質(zhì)的相互作用，結(jié)果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因?yàn)閺脑嚇又兴玫礁鞣N信息的強(qiáng)度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)，因此，通過(guò)接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進(jìn)行晶體學(xué)分析或成分分析。在應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來(lái)象的反差的變化，焊接開(kāi)裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。

　　它的觀測(cè)電疇是通過(guò)對(duì)樣品表面預(yù)先進(jìn)行化學(xué)腐蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區(qū)域從而可在顯微鏡中進(jìn)行觀察。因此，可以將樣品表面預(yù)先進(jìn)行化學(xué)腐蝕后，利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白襯度來(lái)判斷不同取向的電疇結(jié)構(gòu)。對(duì)不同的鐵電晶體選擇合適的腐蝕劑種類、濃度、腐蝕時(shí)間和溫度都能顯示良好的疇圖樣。觀察到的PLZT材料的90°電疇。與其他設(shè)備的組合以實(shí)現(xiàn)多種分析功能。

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　1、有較高的放大倍數(shù)，2-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào)；

　　2、有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；

　　3、試樣制備簡(jiǎn)單。目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此掃描電子顯微鏡是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。