掃描電子顯微鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學系統(tǒng)、信號探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等，對于導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。

　　具體功能用途歸納如下：

　　1、掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌，形態(tài)圖像-形貌分析(表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸)；

　　2、顯示化學成分的空間變化，基于化學成分的相鑒定-化學成分像分布，微區(qū)化學成分分析；

　　3、利用背散射電子衍射信號對樣品物質(zhì)進行晶體結(jié)構(gòu)(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。

　　4、掃描電子顯微鏡在半導體器件研究中的特殊應用：

　　1)利用電子束感生電流進行成像，可以用來進行集成電路中的定位和損傷研究。

　　2)利用樣品電流成像，結(jié)果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經(jīng)常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。

　　3)利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。

　　如今，掃描電子顯微鏡已成為現(xiàn)代科學技術中*的重要工具、加速電子的電壓和所希望獲得的分辨率決定樣本的厚度。樣本的厚度可以從數(shù)納米到數(shù)微米不等。原子量越高、電壓越低、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件，一般在數(shù)千伏到3百萬伏特之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于萬分之一。