日立掃描電鏡是用細聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品相互作用產生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進行觀察和分析。SEM已廣泛應用于材料、冶金、礦物、生物學領域。

 

　　通常人眼能夠分辨的最小距離為0.2MM，為了觀察分析更微小的細節，人們發明了各種觀察儀器。為突破光學顯微鏡的分辨極限，人們想到用電子束做照明束，并與上個世紀三十年代制造出了第一臺掃描電子顯微鏡。它的分辨率已經達到了原子水平（≈0.1um），比光學顯微鏡提高了近兩千倍。

 

　　日立掃描電鏡的應用：

 

　　1、掃描電鏡觀察大試樣的原始表面

 

　　掃描電鏡能夠直接觀察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面也能觀察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度(背反射電子象)。

 

　　2、掃描電鏡連續觀察

 

　　掃描電鏡進行從高倍到低倍的連續觀察，放大倍數的可變范圍很寬，且不用經常對焦。

 

　　3、掃描電鏡觀察試樣表面形貌

 

　　掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進行結晶學分析，選區尺寸可以從10μm到3μm。

 

　　4、掃描電鏡觀察納米材料

 

　　所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內，掃描電鏡的一個重要特點就是具有很高的分辨率。現已廣泛用于觀察納米材料。

 

　　5、掃描電鏡觀察材料斷口

 

　　掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現材料斷裂的本質，在教學、科研和生產中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析已經工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。