1、樣品引入系統

　　ICP要求所有樣品以氣體、蒸汽和細霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進入中心通道氣流中。針對于不同樣品性狀，有多種引入方式。

　　1）流動注射進樣特點：樣品用量少，對溶液TDS和粘度要求不高，設備簡單靈活；

　　2）電熱蒸發直接進樣特點：進樣量少，傳輸率高（＞60%），可預先去除溶劑，可預先去除基體；

　　3）氫化物發生進樣特點：接近于100%的傳輸率，與溶液基體充分分離，具有預富集的效果；

　　4）激光燒蝕法進樣特點：原位無損分析，重現性好，線性范圍寬，適用于多種樣。（包括鋼鐵、陶瓷、礦物、核材料、食品等）。

 

　　2、霧化器：

　　ICP-MS中主要使用三種類型的霧化器：

　　1）同心霧化器。氣流與毛細管平行，氣流迅速通過毛細管末端，溶液由毛細管引入低壓區，低壓與高速氣流共同將溶液破碎成氣溶膠。

　　優點：靈敏度高、穩定性好

　　2）交叉流霧化器。利用高速氣流與液流之間接觸使液體破碎產生氣溶膠。

　　優點：堅固且易于清洗、不宜堵塞

　　3）Babington型霧化器。氣流從一細孔中高速噴出，將沿V型槽流下的蒲層液流破碎成霧滴。Babington型霧化器事實上是交叉流霧化器中的一種。

　　優點：適應高鹽分試樣

 

　　3、離子源：

　　ICP-MS是以電感耦合等離子體作為離子源。ICP火焰的形成有三個條件：高頻電磁場、工作氣體、能維持氣體穩定放電的石英炬管。在管子的上部環繞著一水冷感應線圈,當高頻發生器供電時,線圈軸線方向上產生強烈振蕩的磁場。用高頻火花等方法使中間流動的工作氣體電離,產生的離子和電子再與感應線圈所產生的起伏磁場作用,這一相互作用使線圈內的離子和電子沿封閉環路流動。它們對這一運動的阻力則導致歐姆加熱作用。由于強大的電流產生的高溫,使氣體加熱,從而形成火炬狀的等離子體。等離子體指的是含有一定濃度陰陽離子，能夠導電的氣體混合物。在等離子體中,陰陽離子的濃度是相同的，凈電荷為零。通常用氬形成等離子體。氬離子和電子是主要導電物質，一般溫度可以達到10,000K。等離子體是一種電荷放電，而不是化學火焰！

 

　　4、接口：

　　接口是整個ICP-MS系統較關鍵的部分。其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質譜。在質譜和等離子體之間存在溫度、壓力和濃度的巨大差異,前者要求在高真空和常溫條件下工作(質譜技術要求離子在運動中不產生碰撞),而后者則是在常壓下工作。如何將高溫、常壓下的等離子體中的離子有效地傳輸到高真空、常溫下的島津等離子體質譜儀,這是接口技術所要解決的難題。必須使足夠多的等離子體在這兩個壓力差別非常大的區域之間有效傳輸,而且在離子傳輸的全過程中,不應該產生任何影響分析結果可靠性的反應,即樣品離子在性質和相對比例上不應有變化。