德國耶拿等離子體質譜的原理：

　　高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。

 

　　工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體*電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。

 

　　樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。

 

　　樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。

 

　　當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素*的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。

 

　　德國耶拿等離子體質譜的特性：

　　1、可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素；

 

　　2、低檢出限(低至ppq級)；

 

　　3、分析效益/成本比上佳；

 

　　4、線性動態范圍寬-可直接檢測從ppq到數百ppm濃度；

 

　　5、譜線簡單、干擾小，準確度和精密度好；

 

　　6、需要樣品量很低，分析速度很快；

 

　　7、檢測模式靈活多樣。