樣品氣溶膠的一部分在等離子體被離子化，通過雙錐將樣品離子從等離子體提取至含有四極桿質量過濾器的真空系統中。

 

　　通過離子光學系統將不同質荷比的離子輸送到質量分析器中。質量分析器選擇特定質荷比的離子，然后通過電子倍增器對特定質荷比的離子計數。將特定元素的離子得到的CPS值與校正曲線進行比較，計算出樣品元素的濃度。

 

　　耶拿等離子體質譜儀的組成條件：

　　由ICP焰炬，接口裝置和質譜儀三部分組成；若使其具有好的工作狀態，必須設置各部分的工作條件。

 

　　工作條件：主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等。

 

　　接口裝置工作條件：ICP產生的離子通過接口裝置進入質譜儀，接口裝置的主要參數是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調整兩個錐孔的距離和對中，同時要調整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。

 

　　質譜儀工作條件：主要是設置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾，一般要避免采集N2、O2、Ar等離子。進行定量分析時，質譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質量，同時還要有合適的倍增器電壓。