等離子體光譜儀主要用于液體試樣中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析。將樣品溶液以氣溶膠形式導入到等離子體炬焰中，樣品被蒸發和激發，發射出所含元素的特征波長的光。

 

　　經分光系統分光，其譜線強度由光電器件接受并轉變為電信號而被采集。根據元素濃度與譜線強度之間的對應關系，測定樣品中各相應元素的含量。

　　等離子體光譜儀要有良好的使用環境：

　　Agilent等離子體光譜儀與其它大型精密儀器一樣，需要在一定的環境下運行，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。

　　根據光學儀器的特點，對環境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大，光學元件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數據不穩定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環境濕度過大，光學元件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低。

　　電子系統，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對高頻發生器的影響也十分重要，濕度過大，輕則等離子體不容易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發生器。一般室內濕度應小于百分之70，控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。