如何設置掃描電鏡（SEM）的參數設置（一）

掃描電鏡（SEM）的參數設置對于獲得高質量的圖像至關重要。以下是一些主要的參數設置及其影響：

- 加速電壓決定了電子束的能量，進而影響圖像的分辨率和深度。較高的加速電壓可以產生更高的能量電子束，使樣品表面更容易被穿透，從而獲得更深入的圖像細節。然而，過高的電壓可能會損壞樣品。

  - 需要注意的是，高加速電壓在SE（二次電子）模式下對樣品表面結構細節的分辨能力會降低，而低加速電壓則更適用于表面成像。

20kV 10000X SE /10kV 10000X SE

- 探針電流是指電子束在掃描過程中的強度。較高的探針電流能夠提供更多的電子，從而增強信號強度并減少圖像噪音。然而，過高的探針電流可能會導致樣品的燒損和退火。

- 物鏡光闌用于減少或排除外來（散射）電子，以獲得高分辨率的圖像。光闌的選擇和調整會影響電子束的直徑和圖像的分辨率。

  - 在高倍率圖像觀察時，物鏡光闌必須合軸以消除像散。

請注意，不同的電鏡設備即使參數相同，成像效果也可能會有差異。因此，為了確定樣品成像的最佳設置，需要進行實踐操作和反復調整。此外，對于某些特定的樣品或研究目的，可能還需要進行額外的樣品處理或參數優化。

以上信息僅供參考，具體操作時應遵循設備的使用說明書和實驗室的安全規范。

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