掃描電鏡加熱原位系統將MEMS氣氛環境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的環境并且可以對實驗樣品原位加熱?？蓪悠愤M行可控溫度的加熱，電學測量芯片可對樣品進行電性質測量。并可在進行加熱和電學測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征，極大拓展了透射電鏡的功能和應用范圍。使用同一個SEM樣品臺既可以實現不同的原位解決方案電學、加熱等不同應用。
本公司提供的CHIP-NOVA掃描電鏡加熱原位系統有優異的熱學性能：
1.高精密紅外測溫校正，微米級高分辨熱場測量及校準，確保溫度的準確性。
2.四電極的超高頻控溫方式，排除導線和接觸電阻的影響，測量溫度和電學參數更精確。
3.采用高穩定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料)，既是熱導材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關系，加熱區覆蓋整個觀測區域，升溫降溫速度快，熱場穩定且均勻，穩定狀態下溫度波動±1℃。
4.采用閉合回路高頻動態控制和反饋環境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±1℃。
5.多級復合加熱MEMS芯片設計，控制加熱過程熱擴散，大大抑制升溫過程的熱漂移，確保實驗的高效觀察。
6.加熱絲外部由氮化硅包覆，不與樣品發生反應，確保實驗的準確性。
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