特種氣體興起于20 世紀60 年代中期，為基礎化工材料，主要應用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、醫學科學、臨床診斯、醫藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展，其應用范圈也越來越廣泛。目前在特種氣體分析檢測中的色譜分析法主要有DID(氦離子先按測器）、常規氣相色譜。

    DID 色譜分析儀，核心部件為放電離子化檢測器， DID 檢測器的主體由電離室和放電室組成，之間有狹窄通道，放電區域內電極兩端施以適量高壓后，可以得到一束高能量的紫外光輻射（ 400-500nm)，紫外光在電離室內使氦原子被激化，被激化的氮原子與電子碰撞產生氦離子，即通常所說的亞穩態，被激化的氦及被離子化的氦在電極前形成放電電流。分析物的檢測發生在下室即放電室，亦稱為離子化室。被激化的氦原子具有很高的能量，通過上下室之間狹小的開口進入下室，并與來自色譜柱的載氣及已分離的雜質分子發生非彈性碰撞使各種雜質分子電離。此時在集電極上加以適當電應收集被電離的雜質分子，可以得到濃度成正比的電流信號。亞穩態的高能氦原子具有較高能量，可使包括Ne 在內的很多物質分子電離，因而DID 是一種通用型檢測器，物質在DID 的響應因子與其電離時的能有關。除對載氣He 氣外，對很多氣體都有反應，靈敏度可達10-9級，線性范圍寬，檢測范圍可從10-9~2% ，尤其是各種痕量分析。