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氦離子檢測(cè)器應(yīng)用原理
一、脈沖放電氦離子化檢測(cè)器(PDHID)是一種靈敏度高的通用型檢測(cè)器，對(duì)幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的分析，是能夠檢測(cè)至ng/g(ppb)級(jí)的檢測(cè)器。
二、隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，氣體工業(yè)特別是高純和超高純氣體以及電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)，原有的熱導(dǎo)等色譜檢測(cè)器均無法滿足高純氣體分析的要求。
三、技術(shù)原理：
1、脈沖放電間隔和功率：
PDHID中放電電極距離為1.6mm，改變充電時(shí)間可改變經(jīng)過初級(jí)線圈的放電功率。因放電時(shí)間僅為1μs，而脈沖周期達(dá)幾百微秒，絕大部分時(shí)間放電電極是空載。
2、偏電壓：
在放電區(qū)相鄰的電極上加一恒定的負(fù)偏電壓。響應(yīng)值隨偏電壓的增加而急劇增大，很快即達(dá)飽和。PDHID在飽和區(qū)內(nèi)工作，噪聲較低。
3、通過放電區(qū)的氦流速：
保持放電區(qū)的潔凈，以便氦被激發(fā)；它作為尾吹氣加入，以減少被測(cè)組分在檢測(cè)器的滯留時(shí)間。
4、電離方式和性能特征：
氦中放電發(fā)射出13.5-17.7eV的連續(xù)輻射光進(jìn)行光電離；被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB，產(chǎn)生信號(hào)，或直接電離載氣和雜質(zhì)產(chǎn)生基流；亞穩(wěn)態(tài)氦與組分反應(yīng)電離產(chǎn)生信號(hào)，或與雜質(zhì)反應(yīng)電離產(chǎn)生基流。