技術參數

Excel 661UM

Excel 661UC

測量范圍

650×680×150mm

儀器外觀尺寸

1311×1604×1608mm

凈重

1530kg

容量

100kg

床臺材料

花崗巖

途徑

X和Y單軌，單軌線性的z

電源要求

93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp max.

X,Y軸度

U=2.8+L/200µm

Z軸度

U=2.8+L/100µm

X,Y軸大加速度

1000mm/s2

Z軸大加速度

500mm/s2

X,Y 速度

150mm/s2

光柵尺分辨率

0.1µm

輪廓光，同軸光，表面光

紅光LED技術（黑白機種使用）

白光LED技術（彩色機種使用）

光學鏡頭/倍率范圍

12*Opucal/2.5*Digital  Programmable Zoom/15x～1200x on

計算機規格

1.2GHz,256MB RAM,Windows2000,CD-RW,Ethernet Card

工作環境

20℃(680F)±20,30-81% Humidity