規格型號

JTM-3020

工作臺

玻璃臺尺寸（mm）

350*250

運動行程（mm）

300* 200

Z軸電動升降行程(mm)

120

光柵尺分辨力(μm)

0.1μm

X、Y坐標示值誤差(μm)

1.5+ L/200 (L為測量長度，單位mm)

影像系統

彩色1/2”CCD攝色機：；結合測量軟件QMS3D-M

顯微鏡系統

三目頭

目鏡：10倍

濾光片：黃、綠、藍、白

量測模式：反射，透射，偏光

5孔物鏡轉換鏡

照明系統

透射照明光源：白光LED，亮度可調

同軸照明光源：12V 100W鹵素燈，亮度可調

物鏡

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距離 (mm)

18.0

15.0

4.5

11.0

總放大倍率

目視

50X

100X

200X

500X

19寸視頻

301.625X

603.25X

1206.5X

3016.25X

高度量測模塊

（選配件）

白光干涉高度測量模塊(M10-CA),高度量測分辨率0.5 μm (選配):倍率10X，工作距離5mm，光學分辨力2um

其他參數

外形尺寸 (mm)

825*660*910

儀器重量 (kg)

850

電源功耗

~220V 50/60Hz < 60W(不包含計算機)